【168A-6】絕版書七成新，《VLSI製造技術》，莊達人，高立出版社
NT$ 699.00
《VLSI製造技術》是台灣半導體教育早期的重要教材之一，由莊達人教授編寫，內容從基礎晶圓製程一路談到高階的薄膜沉積、離子佈植、微影、蝕刻、金屬化與整體製程整合，屬於「完整帶領讀者看懂每一道半導體工序」的系統化著作。
這本書的時代背景，大約在台灣半導體從 0.35µm、0.25µm 邁向 0.18µm節點的關鍵年代，書中許多製程原理、設備架構、製造邏輯，奠定了後來台灣工程科系的教科書基礎。即便今日製程已進入 3nm、2nm 時代，這類教材仍非常珍貴，因為它呈現了「半導體製造的底層規律」，包括：
— 製程參數如何影響晶體品質
— 離子劑量、能量對電晶體的影響
— 微影解析度的物理極限
— CMP、PVD、CVD、RTA 等技術的原始原理
— 製造良率的統計與控制方法
高立出版社的工科書早已多數絕版，這類 VLSI 書籍保存度良好的更是難得。對半導體領域、電子工程、製程研發、或收藏台灣早期半導體教材的讀者而言，都是相當值得珍藏的一冊。
這本書的時代背景，大約在台灣半導體從 0.35µm、0.25µm 邁向 0.18µm節點的關鍵年代，書中許多製程原理、設備架構、製造邏輯，奠定了後來台灣工程科系的教科書基礎。即便今日製程已進入 3nm、2nm 時代，這類教材仍非常珍貴，因為它呈現了「半導體製造的底層規律」，包括：
— 製程參數如何影響晶體品質
— 離子劑量、能量對電晶體的影響
— 微影解析度的物理極限
— CMP、PVD、CVD、RTA 等技術的原始原理
— 製造良率的統計與控制方法
高立出版社的工科書早已多數絕版，這類 VLSI 書籍保存度良好的更是難得。對半導體領域、電子工程、製程研發、或收藏台灣早期半導體教材的讀者而言，都是相當值得珍藏的一冊。
臻品齋書店在發貨前，
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再一層強化塑膠包裝袋，
最後才裝進破壞袋！
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